但真要实现起来却不简单，毕竟这是两个工件台的协同配合，而且要保持高速运动下的0.5微米的运动精度——其难度相当于在两架并肩飞行的飞机上，其中一架飞机伸出一根杆子，在对面的机身上刻0.5微米大小的字。
至于为什么曲慧会在取得如此的成果后依旧保持冷静乃至忧虑……苏远山完全能够理解。
因为曲慧刚出校门就进入了远芯，亲自参加了EDA的诞生，又亲眼见证了远芯在各个领域的崛起。
说白了，就是曲慧所参与，所看到的，全是世界顶级的技术成果。
双工件台虽然出来了，却无法给国产光刻机带来本质上的技术飞跃。
她不甘心。
“这样，曲慧姐，我给你指一条方向。”苏远山不知道双工件台技术接下来要具体往哪一边走，但苏远山却知道双工件台的未来在何方。
“嗯？你说什么方向。”
“目前工件台的最大难点还是在于高速运动下所导致的一系列麻烦，所以……如果要把目光瞄准到十年，二十年之后，瞄准到纳米级精度的话，我认为，只有一条路，就是磁悬浮。”
“磁悬浮？”曲慧闻言一怔，直愣愣地望着苏远山。
郑振川也惊讶起来：“小山，磁悬浮能用在工件台上？”
“不是磁悬浮能用在工件台上，而是工件台要摆脱摩擦和阻尼的桎梏，实现超精密运动控制，在现有的自然科学和机械空城的框架下，就只有磁悬浮这一条路。”
曲慧沉默数秒后慢慢点头，喃喃道：“是了，磁悬浮技术可以最大作用地发挥我们的运动控制模块的优势，避开短板。”
“可是，那个难度怕是有点大吧？现在有没有超精密的磁悬浮运动控制案例和方案？”郑振川则想了想，迟疑地问道。
“不知道，但管他呢！”曲慧吸了口气，整个人瞬间振奋了起来，望向苏远山道：“小山，你真觉得那是个方向？”
“我能想到的唯一方向。”苏远山郑重点头。
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*
有了新方向的曲慧再无心交谈，转而去苏远山的书架翻了一本物理书来看。
见曲慧这模样，苏远山也在心里暗暗发笑——曲慧别看已经三十岁了，可长期以来身处科研一线，身份身家都无与伦比，以至于心态还是小姑娘心态。
“郑叔，怎么说？”苏远山起身给郑振川斟满茶水，笑呵呵地问道：“你别告诉，你是来推销光刻机的。”
“嗯，还真是。”郑振川从刚才苏远山口中的磁悬浮工件台的设想中回过神来，笑着道：“我们拿到了蔡司的镜头和Cymer的KrF光源，接下来就能量产最低0.18微米工艺节点的光刻机了。”
“我靠！”
苏远山眼珠子一瞪，差点没从沙发上弹起来：“怎么拿到的？”
“呵呵，别激动。”郑振川好整以暇地抿了一口茶：“怎么样，要不要来两台？”
“等等！”苏远山马上便清醒过来：“别拿空头支票来忽悠我，先说清楚，什么时候可以可以出厂。”
“最多半年。”
听到这个半年，苏远山又默默地算了一下自家光源的时间，这才慢慢平静下来，笑着骂了一句：“NND，帝国主义亡我之心不死。”
“是啊……但这样好歹能把咱们的光刻机与尼康佳能的距离缩到只有一代了，对吧？”
“嗯，这倒是。”
苏远山含笑望着郑振川，突然越看越觉得这老头有点像“买办”了。
很显然，在这个时候，蔡司和Cymer突然对国产光刻机放行，除了有霓国同行的竞争之外，还有就是有把国内的光源和镜头技术“扼杀”在摇篮的想法。
要知道，他们给的光源和镜头，可不是最先进的……
Cymer都已经搞出193的ArF了，正在想搞EUV或者F2呢。
“不过郑叔，我们已经预定了尼康最先进的DUV光刻机，他们的节点可是能够到65纳米。”苏远山一耸肩，呵呵笑道：“差不多半年。”
“……”郑振川便带着一脸哀怨地看着苏远山：“当初你说好要支持的呢？”
“我当然一直都是支持的，但这事儿我做不了主啊郑叔。你不应该找我，而是应该去找德远的张博士。”
说着苏远山便疑惑起来：“不对，郑叔……无锡那么多晶圆厂，为什么你不去找他们？”
远芯在光刻机，晶圆厂的战略方向一直很明确，就是以保持制程和工艺的领先——换言之就是设备上不能落后。
光刻机自然要支持，甚至还要大力支持。但钱可以出，在有选择的情况下，买一堆落后的产品，这事儿却是不能干的。
国家也认同远芯的发展，因此从来把希望寄托在远芯身上，继而让华晶，华鑫，首晶等新老国有控股的晶圆厂大力采购国产光刻机，用以扶持。
所以郑振川找苏远山，是没找对门。
“因为每个企业都有追求。”这时曲慧抬起头，悠悠地来了一句。
苏远山便望向郑振川，只见后者的表情已经变得苦涩了起来。
郑振川沉默几秒后，发出了一声轻叹：“国外同行在今年开了不少口子，国内的晶圆厂，只要有钱，基本上都能买到KrF的光刻机……”
“现在国家上上下下都在讲市场化，就算上面再支持我们，也不可能说强制下行政命令让企业只买我们的光刻机吧？”
“而且……我们的光刻机……确实，我承认，稳定性比起国外同行差了一点。但我们起步晚，这是很正常的，总要给我们一点时间进步和完善，对吧？”
“现在倒好，随着国外解禁，国内企业又开始有钱了……再加上国家一直在推动无锡那边的产业升级，成立了以华晶为首的半导体联盟。旨在提高整个国内半导体行业的元器件自产率和制程升级……所以，我们在目前落后两代的情况下，确实有点难搞。”
“现在无锡那边，已经有人在诋毁说咱们的光刻机这不行，那不行……还不如多花点钱买ASML和尼康佳能。”
“在那些人眼里，晶圆厂就是印钞厂，光刻机就是印钞机，就算再贵，只要够先进，能稳定运行，那印到后面就是印的钞票。”
静静地听郑振川说完，苏远山意识到，历史的走向已经完全改变了。
但有一样还是没变。
造不如买的思想没变。
——事实上，造不如买不仅仅是一种思想，而是一个持续在整个工业化进程中的现象。
原因很简单，机械设备领域，确实不如别人。
工欲善其事，必先利其器。
哪怕它再贵，稳定性和效率依旧压倒一切。
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